�ҹ�˾���I(y��)�N������Ʒ������Ӌ�����Ӌ�����y����������ϵ�y(t��ng)��Ʒ���У�����Brooks��MKS���ձ�HORIBA, AERA��UNIT��Tylan��STEC��Alicat VAT �հl(f��)�ȣ�Ʒ�NҎ(gu��)���Rȫ.
����Ӌ���N���]��̖��MKS 1179A, 1179C, 1179B, 1479A, 1579A, GE50A, GM50A
BROOKS 5850E, 5851E, 5853E, SLA5850S, SLA5851S, SLA5853S,
AERA 7700CD, R7700CD, 7800CD, R7800CD
HORIBA E40, E50, N112, N122, N114, Z512, Z514, Z524, Z534
���Ӌ���N���]��̖��MKS 622, 623, 625, 626, 627, 628, E27, E28, 901P, 910, 925, 41B, 51B, 722
IKR251, PKR251, CCR361, CCR362, CCR363, CMR361, TPR280��
���y�������� 253B, 653B, T3BIB, T3BIA, T2BA, 651CD ,
���|(zh��)����������������������ضȜy���c����ϵ�y(t��ng)�Ĺ���(y��ng)����ͬ�r��(j��ng)�N��պ��Ĥ�O(sh��)���Ʒ�ư�����INFICON��Ĥ����ƃx�����Ӌ/���Ҏ(gu��)���ĘO�|(zh��)�V�x����������ϵ�y(t��ng)�����|(zh��)�V�z©�x����ý�z©�x������y�T����COMDEL��AE��HUETTINGER(ֱ���Դ�����l�Դ�����l�Դ����VARIAN��PFEIFFER��ձõȣ����w�����������y���Ϳ���, ���l /ֱ�� /���Դ�l(f��)�������y������, ���x�� /��������(y��ng)���w�l(f��)����, ��ծa(ch��n)Ʒ, ���w�����x, �o늿��Ƽ���Ϣ�Ϳ��Ƽ��g(sh��)�Ȯa(ch��n)Ʒ���҂�֪���Ě��w����У��ϵ�y(t��ng)�����κ�Ʒ�Ƶ�MFC������ϴУ���������ܿɿ�����˜������|(zh��)����������������������ضȜy���c����ϵ�y(t��ng)�Č��I(y��)����(y��ng)�̡�